满足1um以上电极/PAD使用;

探针台整体位移精度高达3μm，样品台四维精密调节；

探针座采用进口交叉滚柱导轨，无回程差设计；

显微镜增加XY50mm显微成像移动功能；

弧形探针架设计，可放置 6个DC 探针座/4个RF探针座；

漏电精度：100fA（屏蔽箱内）；

应用于：MEMS测试、芯片测试、晶圆测试、测试光电器件的电学性能和光学性能等；

探针台整体位移精度高达3μm，样品台四维精密调节；

显微镜增加XY精密移动功能，位移精度：3μm；

双目镜SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明场长轴照明器；

预留滤光及偏光插槽，带光阑调节通光量及视野大小；

选用95mm大视场平场复消色差长焦物镜；

应用于：MEMS测试、芯片测试、晶圆测试、测试光电器件的电学性能和光学性能等；

激光显微镜，5档物镜转盘，可引入激光完成光电流测试；

高清2000W相机成像相机，1920*1080；

左侧为相机接口，兼容 CCD 以及 CMOS 相机；

中间为光源耦合接口、右侧为LED照明光源接口；

配置5X、10X、20X、50X物镜（其他可选）；

整体位移分辨率3μm，样品台XYZR四维调节；

应用于：应用于科研 IPCE，光致发光，光电流等等光电测试；

结构紧凑，功能实用，高性价比；

满足1um以上电极/PAD使用;

漏电精度：10pA（屏蔽箱内）

探针台整体位移精度高达10μm，样品台四维精密调节；

精密燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计;

应用于：半导体、MEMS（微机电系统）、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等领域；

整体一体化设计，集成度高，功能实用；

U型探针架，可以放置4个探针座；

探针台整体位移精度高达10μm，样品台四维精密调节；

漏电流精度：10pA/100fA（屏蔽箱内）；

精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计；

应用于：功率器件测试、MEMS测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；