• 结构紧凑，功能实用，高性价比；
• 满足1um以上电极/PAD使用;
• 漏电精度：10pA（屏蔽箱内）
• 探针台整体位移精度高达10μm，样品台四维精密调节；
• 精密燕尾传动机构，线性移动，无回程差设计;
• 应用于：半导体、MEMS（微机电系统）、超导、铁电子学、材料科学以及物理和光学等领域；

     谱量光电 探针台又称探针测试台，主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台，探针台可吸附多种规格芯片，并提供多个可调测试探针以及探针座，配合测量仪器可完成集成电路的电压、电流、电阻以及电容电压特性曲线等参数检测。适用于对材料、芯片等进行科研实验分析，抽查测试等用途。