• 满足1um以上电极/PAD使用;
• 探针台整体位移精度高达3μm，样品台四维精密调节；
• 探针座采用进口交叉滚柱导轨，无回程差设计；
• 显微镜增加XY50mm显微成像移动功能；
• 弧形探针架设计，可放置 6个DC 探针座/4个RF探针座；
• 漏电精度：100fA（屏蔽箱内）；
• 应用于：MEMS测试、芯片测试、晶圆测试、测试光电器件的电学性能和光学性能等；

     谱量光电 探针台是一种重要的半导体测试设备。探针台的工作原理是将芯片吸附在样品台上，然后探针座精密移动将探针精确定位到待测点上，线缆连接半导体参数分析仪（数字源表）通过测试软件对芯片进行电性能测试分析。具体来说，探针台将测试探针放置在芯片表面的测试点上，然后利用信号源给芯片施加一定的电压或频率信号。再利用示波器等仪器检测芯片的输出电信号，从而确定芯片的电参数和性能。主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试，可以根据客户需求提供定制化产品，是高校科研及产业研发的理想之选。