• 整体一体化设计，集成度高，功能实用；
• U型探针架，可以放置4个探针座；
• 探针台整体位移精度高达10μm，样品台四维精密调节；
• 漏电流精度：10pA/100fA（屏蔽箱内）；
• 精密燕尾槽，线性移动，无回程差设计；
• 应用于：功率器件测试、MEMS测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等；

     谱量光电 根据客户实际应用需求，推出该款集成度高，功能实用，性价比优异的模块化探针台，该系列探针台主要由光学成像部分、光学隔振平板、探针座 、四维调节样品台、真空吸附系统组成。满足产线基本电学参数测试同时兼顾低成本优势，已成为工业生产领域批量检测的理想之选。