• 探针台整体位移精度高达3μm，样品台四维精密调节；
• 显微镜增加XY精密移动功能，位移精度：3μm；
• 双目镜SWH10X/25mm；0.65倍CTV，明场长轴照明器；
• 预留滤光及偏光插槽，带光阑调节通光量及视野大小；
• 选用95mm大视场平场复消色差长焦物镜；
• 应用于：MEMS测试、芯片测试、晶圆测试、测试光电器件的电学性能和光学性能等；

     谱量光电 精密型基础测试探针台（金相款）能够清晰观测到被测元件的微小结构和细节，确保测试的准确性。具有高分辨率观测、高精度测试等特点；预留滤光及偏光插槽，带光阑调节通光量及视野大小，支持多组物镜切换使用。在半导体器件的研发和测试中，更利于观察1μm以上电极/PAD使用，大大的提高了测试结果的稳定性。