探针台
Probe Stations
波导耦合系统是指利用波导结构实现光信号耦合和传输的系统。它能够将光信号从一个介质或波导高效地传输到另一个介质或波导,同时保持光信号的完整性和稳定性。该系统在光通信、光信息处理、集成光学等领域具有广泛应用。
波导耦合系统可以根据耦合方式、波导类型以及应用场景等因素进行分类。常见的耦合方式包括直接耦合和间接耦合,而波导类型则包括平面波导、光纤波导等。在结构上,波导耦合系统通常由输入波导、耦合区域和输出波导三部分组成。输入波导用于接收并传输光信号,耦合区域则实现光信号在两个波导之间的传输和耦合,输出波导则用于接收并输出耦合后的光信号。输入输出端口用于连接光源和探测器等外部设备;控制系统则用于对系统的运行进行监控和调节。
1、安装芯片和光纤
2、光纤与芯片粗略对准
3、耦合对准
4、优化和点胶
5、UV固化
6、下料
首先将光纤阵列与平面波导芯片装配完成(夹持或真空吸附),一旦CHIP和光纤阵列FA被装好,使用视觉系统将各组件调整到合适位置,然后进行预装配工艺。如图1、图2所示,输入光纤阵列(输出光纤阵列同理)需要与平面波导器件做精确的平行定位。使用垂直和平行相机,所有位置仅用一次调整,就可实现平行定位的设置。夹具的精度将保证在以后的装配中保持其定位关系。
图1
图2
组件装夹完成后,通过校正(1)光纤耦合位移台和显微镜的X、Y、Z方向的偏差来进行光纤与CHIP芯片大致对准。然后操作员通过图像(水平投影+垂直投影)显示出的各项偏差,然后手动调整来补偿偏差如图3所示。
图3
a. 当三个器件完成初始定位,同时确认其在Z轴方向的相对位置关系后,这时需要确认输入光纤阵列和波导器件之间光的耦合对准。然后先将输出端光纤移开,右侧放置一个光功率计。通过分析输入端光源释放功率及CHIP芯片本身的光损耗,不断微调输入端的位置来找到去除CHIP芯片光损坏的最接近值,则判断输入端基本耦合对准完成。
b. 将光功率计移开,输入端不动,微调输出端XYZ,输出端光纤接上光功率计。然后反复微调整输出端,使得光功率不断接近去除CHIP芯片的光损耗最佳值。直至调节任意一轴光功率都会变差为止,此时系统处于光功率最佳位置(相对接近真实值),且输入与输出端与CHIP芯片基本耦合完成入如图4所示。
图4
在此过程中,可以用输出光纤阵列第一个通道,延X轴的方向对波导各通道进行扫描,以测量其各通道的光功率如图5所示。在整个器件完成光耦合效率优化,并对输入及输出光纤阵列进行定位后,就可以使用自动点胶系统将各个器件进行粘接如图6所示。
图5
图6
等待固化
松开夹具,取下物料。