• 控温范围可达-142℃-600℃；
• 控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃；
• 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；
• 探针位移行程40mm，分辨率3μm；
• 三同轴探针夹具，漏电精度100fA；
• 配置气浮隔振平台，固有频率：1.2Hz～1.8Hz；
• 广泛应用于半导体材料、纳米器件、超导材料、铁电材料等领域的研究与开发；

     谱量光电 高低温真空探针台是一种集成了真空环境控制、温度调节与电学测试功能的精密实验设备。主要核心功能是在高真空环境下对样品进行高温或低温条件下的电学特性测试。真空腔体采用304不锈钢做真空密封设计，机械泵或分子泵组合，极限真空度优于3*10^(-3)Pa。样品台高温通过PID控制器实现快速响应和稳定控温，温度范围可达600℃。低温利用液氦（沸点沸点77K）的极低沸点，通过液氦循环系统实现超低温-142℃真空低温环境。搭配气浮隔振平台实现实验的超稳定性，是模拟不同温度下半导体材料、芯片，半导体器件等测试的理想之选。