• 控温范围可达-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系统）；
• 控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃；
• 极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；
• 探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；
• 三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构；

     谱量光电LVTS系列高低温真空探针台主要用于为被测芯片提供一个低温或者高温的变温测量环境，以便测量分析温度变化时芯片性能参数的变化。腔体内被测芯片在真空环境中有效避免易受氧化半导体器件因接触空气所带来的测试结果误差，是材料学，芯片，半导体器件等方向实验分析的理解之选。