控温范围可达-142℃-600℃（如300℃以上需另配水冷系统）；

控温精度可达±1℃，显示精度1℃，温度均匀性±3℃；

极限真空度优于2Pa@机械泵，极限真空度优于3*10^(-3)Pa@分子泵组；

探针位移重复定位精度2μm，分辨率3μm，单轴直线度±2μm；

三同轴探针夹具，漏电精度100fA，陶瓷结构；