• 整体位移分辨率3μm，样品台XYZR四维调节；
• PID控温，可加热至300℃（可升级），控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃；
• 1μm以上的电极/PAD使用；
• 探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；
• 搭配双目体式显微镜，XY二维调节；
• 应用于：纳米结构与纳米器件研究、光电子器件测试、薄膜与界面性能研究等；

     谱量光电 恒温加热探针台在半导体器件、电子材料和生物医学等领域的测试中，通常需要模拟实际工作环境的温度条件。加热可以改变材料的微观结构和性能，可以观察和分析材料在不同温度下的性能变化，如导电性、导热性、热膨胀系数等。我司恒温加热探针台能够实现对样品的快速加热、精确控温和稳定测试，PID控温可加热至300℃，控温精度±1℃，如有其他定制需求可联系客服。