整体位移分辨率3μm，样品台XYZR四维调节；

PID控温，可加热至300℃（可升级），控温精度±1℃，有效区域温度均匀性±5℃；

1μm以上的电极/PAD使用；

探针座采用进口交叉滚珠导轨，线性移动，无回程差设计；

搭配双目体式显微镜，XY二维调节；

应用于：纳米结构与纳米器件研究、光电子器件测试、薄膜与界面性能研究等；