探针台
Probe Stations
谱量光电 13mm行程线性位移台主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化;导轨方式采用交叉滚柱导轨,具有良好的线性精度和高负载能力。台面尺寸40mmX40mm,13mm行程线性位移台主要分单轴(X、Y)、双轴(XY、XZ/YZ)、三轴(XYZ)3种款式可选。根据高分辨微分头驱动的位置不同分中间驱动、左侧驱动、右侧驱动三种配置可选,位移台最小刻度10 μm。侧面带手拧锁紧螺钉,位移台到达预定位置后可锁紧固定。台面设有M3、M4、M6等孔便于在台面上固定光学元件,搭建光路;位移台底部带有M3螺纹孔可通过转接板固定在光学平台上,也可直接与相适配的滑台进行固定。
行程
13mm |
主体材质
6061航空铝 |
导轨方式
交叉滚柱导轨 |
轴数
单轴/双轴/三轴 |
驱动方向
中间驱动/左侧驱动/右侧驱动 |
PLCTS 单轴线性位移台主体材质采用进口航空铝,表面喷砂氧化;导轨方式采用交叉滚柱导轨,具有良好的线性精度和高负载能力。台面尺寸40mmX40mm,13mm行程线性位移台,最小刻度10μm;侧面带手拧锁紧螺钉,位移台到达预定位置后可锁紧固定。