探针台
Probe Stations
谱量光电 精密气浮隔振光学平台上面板采用优质高导磁不锈钢,台面内核为三层夹心式蜂窝结构,内核密度大幅度提高,具有优秀的硬重比和刚性,同时保证了较低的固有频率,具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺,平面度可达≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,回旋打磨工艺清除毛边,达到无反射哑光效果。气浮支架采用整体焊接工艺(四支撑或六支撑结构),半膜片式空气弹簧,采用进口三水平调节阀技术,反应灵敏,响应迅速,在超载偏重的实验条件下,能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构,气室间带有阻尼孔,气动元件全部采用德国FESTO产品,标配优质大功率超静音压缩机,整体结构保证平台有较高的稳定性。
平面度
≤0.05mm/㎡ |
表面粗糙度
<0.6μm |
固有频率
X方向:1.2~2Hz,Y方向:1.2~2Hz |
振幅
<2μm |
螺孔间距
25mm×25mm |
螺孔规格
M6(公制) |
定制类型 | 示意图 | 具体描述 |
---|---|---|
无磁平台定制 | 支持(台面)无磁和(台面支架)整体全无磁两种形式 左图为中电某所PLGZQ-1815全无磁精密型气浮隔振光学平台 | |
非标准尺寸定制 | 各种非标准型号尺寸均可定制 左图为2.7x1.5米阻尼隔振光学平台 | |
异型结构定制 | 非标准矩形台面等异型结构来图定制 | |
各类刻度线定位标识 | 刻度线和定位标识定制 |
PLCTS 精密气浮隔振光学平台支撑腿内部采用双腔气室结构,气室间带有阻尼孔。气动元件采用德国FESTO产品,标配优质大功率超静音压缩机,在降低固有频率的同时又加强了减振效果。台面平面度:≤0.05mm/㎡,表面粗糙度:<0.6μm,达到无反射哑光效果。支持客户尺寸结构定制化需求,适应更多实验环境。