探针台
Probe Stations
PLCTS探针座作为探针台的核心部件,主要用途是连接探针和线缆,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件,从调节精度上来区分可分为10μm/5μm/3μm/1μm/0.5μm等,从操作方式来区分可分为手动和电动,此外根据应用场景的不同又可分为通用型探针座/万向型探针座/L型探针座等,广泛应用于半导体及光电行业的电学参数测试。
探针位移行程
XYZ三维分别13mm+180°旋转调节 |
调节精度
10μm |
电压测量范围
≤1000V |
电流测量范围
100fA/10pA~10A |
馈通线缆
同轴线缆/三同轴线缆 |
线缆长度
1.5米 |
(Keithley26系列源表实测)
PLCTS 10μm调节精度L型探针座适用于100μm以上电极使用,适用于直流I-V测试,C-V测试,I/O点测试等。广泛应用于晶圆芯片、半导体材料器件、太阳能电池、集成电路等相关行业领域。