• 主体材质：铝合金；
• 位移采用高分辨率微分头驱动，交叉滚珠导轨；
• 万向调节夹具，探针螺纹锁紧，可360°角度旋转调节；
• 整体尺寸：230mm*65mm*160mm；
• XYZ三维分别13mm+360°旋转+360°精密定向倾斜调节；
• 线缆规格：同轴线缆（BNC、鳄鱼夹、香蕉插头）/三同轴线缆；
• 固定方式：可调磁力吸附；

     谱量光电 万向型5μm探针座主要是针对特殊样品需要调节特殊角度而研发的一款支持360°旋转及360°倾斜调节探针座。整体采用航空铝合金，表面喷砂氧化，具有很好的耐腐蚀能力。位移采用高分辨率微分头驱动，交叉滚珠导轨保证线性位移的稳定性。主要用途探针与待测器件（如芯片）接触，传输测试信号并收集响应信号，以评估待测器件的性能和质量，为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件。根据客户应用电极大小和需要调节角度不同等，还提供通用型、L型探针座供客户选择。广泛应用于半导体晶圆测试、芯片器件研发与制造、光电元件测试等，如有定制化标准（行程、精度、夹具等）可联系客户咨询。