探针台
Probe Stations
谱量光电 10μm调节精度通用型探针座整体采用航空铝合金,表面喷砂氧化,具有很好的耐腐蚀能力。位移采用燕尾分离式导轨结构,保证线性位移的稳定性。主要用途探针与待测器件(如芯片)接触,传输测试信号并收集响应信号,以评估待测器件的性能和质量,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件。根据客户应用电极大小和测试精度不同,还有3μm、1μm、0.7μm、0.5μm等款式供客户选择;广泛应用于半导体晶圆测试、芯片器件研发与制造、光电元件测试等,如有定制化标准(行程、精度、夹具等)可联系客户咨询。
探针位移行程
XYZ13mm+180°旋转+60°精密定向倾斜调节 |
调节精度
10μm |
电流测量范围
10pA/100fA~10A |
线缆规格
同轴线缆(BNC/鳄鱼夹/香蕉插头)/三同轴线缆 |
漏电精度
10pA/100fA |
线缆长度
1.5m |
(Keithley26系列源表实测)
PLCTS 通用型10μm探针座适整体采用铝合金材质,表面喷砂氧化,具有良好的机械性能。使用燕尾分离式导轨结构,保证线性位移。适用于100μm以上电极使用,广泛应用于晶圆芯片、半导体材料器件等测试。