探针台
Probe Stations
谱量光电 通用型3μm探针座整体采用航空铝合金,表面喷砂氧化,具有很好的耐腐蚀能力。位移采用进口交叉滚珠导轨,超高稳定性。主要用途探针与待测器件(如芯片)接触,传输测试信号并收集响应信号,以评估待测器件的性能和质量,为半导体芯片的电参数测试提供一个导通条件。根据客户应用电极大小和测试精度不同,还有10μm、1μm、0.7μm、0.5μm等款式供客户选择;广泛应用于半导体晶圆测试、芯片器件研发与制造、纳米材料测试等,如有定制化标准(行程、精度、夹具等)可联系客户咨询。
探针位移行程
XYZ13mm+180°旋转+60°精密定向倾斜调节 |
探针座调节精度
3μm |
电流测量范围
100fA/10pA~10A |
线缆规格
同轴线缆(BNC/鳄鱼夹/香蕉插头)三同轴线缆 |
漏电精度
10pA/100fA |
线缆长度
1.5m |
(Keithley26系列源表实测)
PLCTS 通用型3μm探针座采用铝合金材质,表面喷砂氧化,具有良好的机械性能。位移采用进口交叉滚珠导轨,超高稳定性,适用于50-100μm电极使用。广泛应用于晶圆芯片、半导体光电元件、纳米材料等光电测试。