探针位移精度0.7μm；

XYZ三轴位移行程均为20mm；

集成射频专用夹具，水平角度 0—30°可调；

集成进口细牙丝杆以及进口交叉滚珠导轨；

底部匹配日本进口超强磁性底座，可以通过开关调节磁性的有无，超强磁力；

射频（RF）表示可以辐射到空间的电磁频率，频率范围从300kHz～300GHz之间；

可配合40GHZ/50GHZ/67GHZ/110GHZ射频探针使用；